更小,更快,更薄
MicronX系統(tǒng)是專門為靈活應用設計的強有力的測量工具。使用Thermo獨創(chuàng)的, 技術的硬件和軟件, MicronX系統(tǒng)能夠比其它EDXRF儀器測量更小的面積, 更薄的鍍層并且更快。 MicronX系統(tǒng)能夠接受多的金屬薄膜測量的挑戰(zhàn)。
X-射線能譜技術方面幾十年的經(jīng)驗帶來了微束X-射線熒光的幾點創(chuàng)新:
激發(fā)光束的光學準直器可以獲得一束特別明亮的的微束X-射線照在樣品表面
靈活和精密的樣品定位
新的X-射線檢測技術
綜合, 易用的操作界面和應用軟件
X-射線束準直
光學準直
這一革命性的技術發(fā)出小至 20微米, 強度和精度為傳統(tǒng)儀器的1000倍。 強度的增加可以減少測量時間—比機械準直快100倍并且精度提高10倍。 光學準直對微束應用是極為重要的, 因為高精度和快速對它是基本的。
精密樣品定位
伺服驅動的樣品臺
為了高精度的樣品定位,MicronX系統(tǒng)采用線性編碼伺服驅動的X-Y-Z樣品臺。 定位精度可以達到+/-5或+/-2微米。
硅片樣品臺有適合于125 mm至300 mm大小硅片的許多插板選購件, 樣品臺的行程能達到300 mm硅片的任何一點。
的真空環(huán)境
Thermo的真空導管技術包括X-射線束發(fā)生和檢測系統(tǒng), 而樣品在空氣中。 這種獨有的設計創(chuàng)造了一種和樣品室全部抽真空可以比擬的分辨率和靈敏度, 而且樣品操作快速, 方便。
X-射線檢測
MicronX有一整套X-射線檢測技術,用戶可以根據(jù)自己的應用選擇合適的檢測器。
除了正比計數(shù)管和PIN二極管檢測器以外, MicronX能配置我們獨有的電致冷Si(Li)檢測器或硅漂(SD)檢測器。 這些檢測器均有極好的分辨率和靈敏度, 適合于:
很薄的薄膜應用
高精度要求
成份復雜, 有重疊峰的多元素或合金
Si(Li)檢測器
鋰漂移硅[Si(Li)] 檢測器為很薄的薄膜應用提供高的分辨率和靈敏度。 數(shù)字式信號處理和Si(Li)檢測器技術保證了高的計數(shù)率通量。 無液氮的方便。
硅漂(SD)檢測器
硅漂檢測器技術和數(shù)字式脈處理電子學系統(tǒng)提供了高的計數(shù)率通量, 而高計數(shù)率通量可以縮短測量時間和提高精度達3倍。
MicronX 設計的有如下特點:
精密的光學系統(tǒng)
變焦, 激光輔助聚焦, 和計算機發(fā)生的十字線能對極小的部件和結構精密定位。
應用界面的設計者
用戶可用圖標板創(chuàng)建的應用界面。
報告樣板
創(chuàng)建用戶的報告格式或者摁一鍵選用一種的質量報告。
XYZ樣品臺和2M/3M分布圖
可編程選項和部件固定的自動成批測量。
圖案識別
自動快速和。
統(tǒng)計工具
包括平均值, 標準偏差, 百分偏差,Pp/Ppk, Min/Max, 直方圖, 趨勢線,和R-圖。 可將數(shù)據(jù)傳入Excel和其它程序。
部件號編碼
可選用部件號或工號為應用編碼。
操作界面
精密
其他推薦產(chǎn)品
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更小,更快,更薄
MicronX系統(tǒng)是專門為靈活應用設計的強有力的測量工具。使用Thermo獨創(chuàng)的, 技術的硬件和軟件, MicronX系統(tǒng)能夠比其它EDXRF儀器測量更小的面積, 更薄的鍍層并且更快。 MicronX系統(tǒng)能夠接受多的金屬薄膜測量的挑戰(zhàn)。
X-射線能譜技術方面幾十年的經(jīng)驗帶來了微束X-射線熒光的幾點創(chuàng)新:
激發(fā)光束的光學準直器可以獲得一束特別明亮的的微束X-射線照在樣品表面
靈活和精密的樣品定位
新的X-射線檢測技術
綜合, 易用的操作界面和應用軟件
X-射線束準直
光學準直
這一革命性的技術發(fā)出小至 20微米, 強度和精度為傳統(tǒng)儀器的1000倍。 強度的增加可以減少測量時間—比機械準直快100倍并且精度提高10倍。 光學準直對微束應用是極為重要的, 因為高精度和快速對它是基本的。
精密樣品定位
伺服驅動的樣品臺
為了高精度的樣品定位,MicronX系統(tǒng)采用線性編碼伺服驅動的X-Y-Z樣品臺。 定位精度可以達到+/-5或+/-2微米。
硅片樣品臺有適合于125 mm至300 mm大小硅片的許多插板選購件, 樣品臺的行程能達到300 mm硅片的任何一點。
的真空環(huán)境
Thermo的真空導管技術包括X-射線束發(fā)生和檢測系統(tǒng), 而樣品在空氣中。 這種獨有的設計創(chuàng)造了一種和樣品室全部抽真空可以比擬的分辨率和靈敏度, 而且樣品操作快速, 方便。
X-射線檢測
MicronX有一整套X-射線檢測技術,用戶可以根據(jù)自己的應用選擇合適的檢測器。
除了正比計數(shù)管和PIN二極管檢測器以外, MicronX能配置我們獨有的電致冷Si(Li)檢測器或硅漂(SD)檢測器。 這些檢測器均有極好的分辨率和靈敏度, 適合于:
很薄的薄膜應用
高精度要求
成份復雜, 有重疊峰的多元素或合金
Si(Li)檢測器
鋰漂移硅[Si(Li)] 檢測器為很薄的薄膜應用提供高的分辨率和靈敏度。 數(shù)字式信號處理和Si(Li)檢測器技術保證了高的計數(shù)率通量。 無液氮的方便。
硅漂(SD)檢測器
硅漂檢測器技術和數(shù)字式脈處理電子學系統(tǒng)提供了高的計數(shù)率通量, 而高計數(shù)率通量可以縮短測量時間和提高精度達3倍。
MicronX 設計的有如下特點:
精密的光學系統(tǒng)
變焦, 激光輔助聚焦, 和計算機發(fā)生的十字線能對極小的部件和結構精密定位。
應用界面的設計者
用戶可用圖標板創(chuàng)建的應用界面。
報告樣板
創(chuàng)建用戶的報告格式或者摁一鍵選用一種的質量報告。
XYZ樣品臺和2M/3M分布圖
可編程選項和部件固定的自動成批測量。
圖案識別
自動快速和。
統(tǒng)計工具
包括平均值, 標準偏差, 百分偏差,Pp/Ppk, Min/Max, 直方圖, 趨勢線,和R-圖。 可將數(shù)據(jù)傳入Excel和其它程序。
部件號編碼
可選用部件號或工號為應用編碼。
操作界面
精密