ECLIPSE L300ND金相顯微鏡 300mm硅片或17″FPD檢測(cè),擁有CFI60光學(xué)系統(tǒng)用于集成電路檢查顯微鏡,由此獲得全所未有的高對(duì)比圖像。物鏡齊聚焦為60mm可以兼顧高數(shù)值孔徑和長工作距離:符合SEMI S293A,S8-95S設(shè)計(jì);利用計(jì)算機(jī)輔助工程系統(tǒng),對(duì)機(jī)身進(jìn)行防震設(shè)計(jì);具有全面的防污染措施。
科學(xué)研究分析,材料分析,微電子觀察,TFT 液晶檢查,17寸FPD檢查,300mm硅片檢查。
◆倍率:25×-1500×(明暗場可以選擇)
◆反射照明部,12V50W鹵素?zé)?,孔徑光闌(電動(dòng),可調(diào)心)視場光闌(固定帶對(duì)焦
目標(biāo)) 可插入小孔光闌滑塊(OPTION) ,可插入∮25mm濾光片(NCB、ND2、ND4)、 起偏器/檢偏器
透射照明部 :12W50W高亮度鹵素?zé)粽彰餮b置,內(nèi)置孔徑光闌,內(nèi)置LWD聚光器
◆ 14x12載物臺(tái)、行程354mmx302mm(透射觀察范圍:354mmx268mm)
◆對(duì)焦行程29mm,粗調(diào)12.7mm/轉(zhuǎn),微調(diào)0.1mm/轉(zhuǎn)(以u(píng)m為單位)
◆觀察方法明暗場、微分干涉、簡易偏光,反射熒光
◆電動(dòng)物鏡6孔物鏡轉(zhuǎn)換、孔徑調(diào)節(jié)、光亮調(diào)節(jié)
◆可以附加NIKON *數(shù)碼相機(jī)及CCD影像擴(kuò)展
◆可以附加*金相測(cè)量軟件實(shí)現(xiàn)電腦測(cè)量
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