ULVAC愛發(fā)科半導(dǎo)體干式真空泵UR1200

2025/04/29 16:30:51

擺動活塞式干式真空泵

什么是搖擺活塞式干式真空泵？

擺動活塞式真空泵是一種機械真空泵，通過與偏心旋轉(zhuǎn)軸相連的活塞的往復(fù)運動來輸送氣體。

旋片式干式真空泵是由轉(zhuǎn)子、氣缸、葉片等組成的機械真空泵。

擺動活塞式干式真空泵的特點

　擺動活塞式真空泵不使用潤滑油，因此氣缸和活塞環(huán)的滑動部分不可避免地會發(fā)生空氣回流。另外，由于該泵結(jié)構(gòu)簡單，極限壓力較低，但能在低真空范圍內(nèi)提供穩(wěn)定的壓力。根據(jù)型號不同，它還可以用作壓縮機壓力源。

ULVAC愛發(fā)科半導(dǎo)體干式真空泵UR1200

擺動活塞式干式真空泵

什么是搖擺活塞式干式真空泵？

　擺動活塞式真空泵是一種機械真空泵，通過與偏心旋轉(zhuǎn)軸相連的活塞的往復(fù)運動來輸送氣體

旋片式干式真空泵是由轉(zhuǎn)子、氣缸、葉片等組成的機械真空泵。

擺動活塞式干式真空泵的特點

應(yīng)用行業(yè)

?半導(dǎo)體制造?：隔膜式干式真空泵用于硅片清洗和干燥，確保生產(chǎn)過程的清潔度和產(chǎn)品質(zhì)量?。

?電子元器件封裝?：在電子元件封裝過程中，隔膜式干式真空泵用于抽取印刷電路板上的多余氣體，保證元器件間的密封性?。

?光學(xué)元件加工?：用于抽出光學(xué)玻璃材料表面的雜質(zhì)氣體，保持其光學(xué)性能?。

?醫(yī)藥行業(yè)?：在制藥生產(chǎn)中用于無菌操作，確保藥品質(zhì)量；還應(yīng)用于醫(yī)療設(shè)備的真空處理?。

?食品加工?：用于食品加工中的真空處理，保證產(chǎn)品的衛(wèi)生和質(zhì)量?。

?化工行業(yè)?：適用于各種化工生產(chǎn)中的真空處理，確保生產(chǎn)環(huán)境的清潔和安全。