FF-1600 復(fù)合分子泵
FF-1600 復(fù)合分子泵產(chǎn)品簡(jiǎn)介:
FF-1600 復(fù)合分子泵廣泛地應(yīng)用于光譜儀器、電子顯微鏡、檢漏儀、表面物理和分析儀器、質(zhì)譜儀;真空鍍膜行業(yè)、顯像管生產(chǎn)、半導(dǎo)體制造業(yè)、等離子刻蝕等領(lǐng)域。
FF-1600 復(fù)合分子泵規(guī)格參數(shù):
壓縮比:N2:108;H2:4×103
電機(jī)轉(zhuǎn)速:24000r/min
*功率輸入:1 KW
潤(rùn)滑油量:260ml
冷卻方式:水冷
冷卻水耗量:90L/h
冷卻水溫度:<24℃
啟動(dòng)時(shí)間:<10min
輸出頻率:400Hz+10Hz
輸出電壓:120V(峰值)
啟動(dòng)電流:5A
工作電流:2A
進(jìn)氣口通徑:DN250mm
排氣口通徑:KF40mm
抽氣速率:1600L/s
極限壓強(qiáng):5×10-7Pa (金屬密封);5×10-6Pa (橡膠密封)
FF-1600 復(fù)合分子泵產(chǎn)品特點(diǎn):
1、高極限真空:的整體加工轉(zhuǎn)子,可運(yùn)轉(zhuǎn)于更高的工作轉(zhuǎn)速,提高了泵的極限真空;
2、大抽速: FF-1600 復(fù)合分子泵是由渦輪級(jí)和牽引級(jí)復(fù)合而成,從而提高了泵的抽速;
3、高壓縮比:轉(zhuǎn)子的螺旋槽式牽引級(jí)使泵具有高的壓縮比和耐粉塵能力;
4、低噪音:采用高精度球軸承,動(dòng)平衡好,對(duì)軸承的磨損小,軸承壽命長(zhǎng),整機(jī)振動(dòng)小,噪音低;
5、清潔無(wú)油:分子泵是靠動(dòng)葉片和定葉片的相對(duì)運(yùn)動(dòng)抽除、拖動(dòng)、傳輸氣體分子排出,因此可獲得清潔 無(wú)油的高真空和高真空;
6、節(jié)能:由于整體轉(zhuǎn)子比分體轉(zhuǎn)子輕,因此電機(jī)負(fù)載小,消耗功率小,可以運(yùn)行更高的轉(zhuǎn)速。
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FF-1600 復(fù)合分子泵
FF-1600 復(fù)合分子泵產(chǎn)品簡(jiǎn)介:
FF-1600 復(fù)合分子泵廣泛地應(yīng)用于光譜儀器、電子顯微鏡、檢漏儀、表面物理和分析儀器、質(zhì)譜儀;真空鍍膜行業(yè)、顯像管生產(chǎn)、半導(dǎo)體制造業(yè)、等離子刻蝕等領(lǐng)域。
FF-1600 復(fù)合分子泵規(guī)格參數(shù):
壓縮比:N2:108;H2:4×103
電機(jī)轉(zhuǎn)速:24000r/min
*功率輸入:1 KW
潤(rùn)滑油量:260ml
冷卻方式:水冷
冷卻水耗量:90L/h
冷卻水溫度:<24℃
啟動(dòng)時(shí)間:<10min
輸出頻率:400Hz+10Hz
輸出電壓:120V(峰值)
啟動(dòng)電流:5A
工作電流:2A
進(jìn)氣口通徑:DN250mm
排氣口通徑:KF40mm
抽氣速率:1600L/s
極限壓強(qiáng):5×10-7Pa (金屬密封);5×10-6Pa (橡膠密封)
FF-1600 復(fù)合分子泵產(chǎn)品特點(diǎn):
1、高極限真空:的整體加工轉(zhuǎn)子,可運(yùn)轉(zhuǎn)于更高的工作轉(zhuǎn)速,提高了泵的極限真空;
2、大抽速: FF-1600 復(fù)合分子泵是由渦輪級(jí)和牽引級(jí)復(fù)合而成,從而提高了泵的抽速;
3、高壓縮比:轉(zhuǎn)子的螺旋槽式牽引級(jí)使泵具有高的壓縮比和耐粉塵能力;
4、低噪音:采用高精度球軸承,動(dòng)平衡好,對(duì)軸承的磨損小,軸承壽命長(zhǎng),整機(jī)振動(dòng)小,噪音低;
5、清潔無(wú)油:分子泵是靠動(dòng)葉片和定葉片的相對(duì)運(yùn)動(dòng)抽除、拖動(dòng)、傳輸氣體分子排出,因此可獲得清潔 無(wú)油的高真空和高真空;
6、節(jié)能:由于整體轉(zhuǎn)子比分體轉(zhuǎn)子輕,因此電機(jī)負(fù)載小,消耗功率小,可以運(yùn)行更高的轉(zhuǎn)速。