(一)測量范圍與分度值

（1）X,Y坐標(biāo)

（6）光學(xué)分度頭

    測量范圍:

     測量范圍: 360度

    X: 200毫米 Y: 100毫米

     分度值: 1分

分度值(數(shù)顯讀數(shù)): 0.0005毫米

（7）光學(xué)定位器:

（2）瞄準(zhǔn)顯微鏡

測頭直徑（實際直徑值的極限,誤差不大于0.0005毫米): φ3±0.1毫米

升降行程: 120毫米

力臂傾斜范圍: 左右各15度

測量力: 8~14克

分度值: 10分

大測量深度: 15毫米

照明光闌調(diào)節(jié)范圍: φ3~φ32毫米

8）玻璃工作臺：

分度值: 1分

玻璃臺面尺寸: 215X130毫米

（3）測角目鏡

（9）頂針架：

角度測量范圍: 360度

大夾持直徑:φ180毫米

分度值: 1分

大夾持長度：被測件直徑<=55毫米時:750毫米

（4）輪廓目鏡

角度測量范圍: ±7度

被測件直徑〉55毫米時:600毫米

分度值: 10分

（10）高頂針架

圓弧分劃板:
曲率半徑R0.1~100毫米
梯形螺紋螺距t2~20毫米

大夾持直徑:φ180毫米

大夾持長度:600毫米

（5）光學(xué)分度臺:

（11）星架

測量范圍: 360度

左V型架前后調(diào)節(jié)范圍:前后各5毫米

分度值: 10秒

右V型架高低調(diào)節(jié)范圍:向上15毫米

3毫米玻璃臺面直徑: φ106毫米

向下3毫米

（12）大承載量:40公斤

(二)測量精度

溫度要求:

（3）雙像目鏡

（1）工作室的溫度應(yīng)為20±2℃;

合像的不穩(wěn)定性 不大于0.0005毫米

（2）工作室的溫度變化每小時不過1℃

合像的不正確性 不大于0.001毫米

（3）被測量和儀器的溫度差不過0.5℃

（4）光學(xué)分度頭

在滿足所規(guī)定的溫度要求的條件下，儀器有如下的保證：

大不準(zhǔn)確度 不大于1分

（1）X,Y坐標(biāo)

（5）光學(xué)分度臺

用玻璃毫米分劃尺進行時，儀器的大不準(zhǔn)確度：

大不準(zhǔn)確度 不大于30秒

0級：（1+L/100)um [式中L----測時長度，單位mm]

（6）光學(xué)定位器

（2）測角目鏡：

測量的不穩(wěn)定性 不大于0.001毫米

測量的不準(zhǔn)準(zhǔn)確性 不大于0.0015毫米

測角角度的大不準(zhǔn)確度 不大于1 分

 (三)光學(xué)參數(shù)

物 鏡 放 大

1x

3x

5x

放大倍數(shù)

用測角或輪廓目鏡

10x

30x

50x

用雙像目鏡

15x

42x

65x

物方視場（毫米）

用測角或輪廓目鏡

φ20

φ6.5

φ4

用雙像目鏡

φ13

φ4.7

φ3

工作距離（毫米）

用測角或輪廓目鏡

81

90

65

用雙像目鏡

47

85

63

 (四)儀器凈重和外形尺寸

主機凈重:250kg

外形尺寸:(X x Y x Z) 980 x 1020 x 640 毫米