FS4000是采用的微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)流量傳感器技術(shù)和智能電子控制技術(shù),專(zhuān)為普通氣體流量監(jiān)測(cè)開(kāi)發(fā)的產(chǎn)品。該傳感器能直接測(cè)量氣體質(zhì)量流量,低壓損。適用于凈化空氣或氮?dú)饬髁勘O(jiān)控,還可用于環(huán)境采樣器(如色譜分析儀器等)
FS4003流量傳感器,管道內(nèi)徑為3mm,成本低測(cè)量范圍大到5SLPM;適用于粒子計(jì)數(shù)器和各類(lèi)分析儀器。
FS4008流量傳感器,管道內(nèi)徑為8mm,測(cè)量范圍大到50SLPM;可用于麻醉設(shè)備、潔凈氣體檢測(cè),如:空氣采樣機(jī),氣體分析儀等
產(chǎn)品特點(diǎn):
- 專(zhuān)為管徑3mm和8mm的氣管中的低壓氣體流量測(cè)量而設(shè)計(jì)
- 支持多種連接方式,易于安裝與使用
- 傳感芯片采用熱質(zhì)量流量計(jì)量,無(wú)需溫度壓力補(bǔ)償,保證了傳感器的高精度計(jì)量
- 在單個(gè)芯片上實(shí)現(xiàn)了多傳感器集成,使其量程比達(dá)到了100:1甚至更高
- 輸出方式靈活,既可通過(guò)通訊接口主動(dòng)上傳數(shù)據(jù)或由上位機(jī)查詢(xún)輸出數(shù)據(jù),也可通過(guò)模擬接口輸出線(xiàn)性的模擬電壓
- 零點(diǎn)穩(wěn)定度高
- 全量程高穩(wěn)定性、高度和優(yōu)良的重復(fù)性
- 低功耗、低壓損
- 響應(yīng)速度快
機(jī)械尺寸:
性能參數(shù)
FS4003
FS4008
單位
通徑
3
8
mm
大流量
2 3 4 5
10 20 30 40 50
SLPM
量程比
100:1
精度
±(1.5+0.2FS)
%
重復(fù)性
0.75
零點(diǎn)輸出飄移
±30
mV
輸出飄移
0.12
%/oC
響應(yīng)時(shí)間
100
ms
工作電源
8~18Vdc100mA
輸出方式
線(xiàn)性,RS232/模擬電壓0.5~4.5Vdc
大流量壓損
600
pa
大工作壓力
0.5
MPa
工作溫度
-10 ~ +55
oC
存儲(chǔ)溫度
-20 ~ +65
工作濕度
<95%RH(無(wú)結(jié)冰、無(wú)凝露)
機(jī)械接口
BSPT1/4(R1/4)4mm/6mm/8mm快速接頭
校準(zhǔn)方式
空氣(或其他氣體),20oC,101.325kPa
重量
57(帶R1/4BSPT1/4接口) 71(帶4mm,8mm快速接口,68(帶6mm快速接頭)
g
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FS4000是采用的微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)流量傳感器技術(shù)和智能電子控制技術(shù),專(zhuān)為普通氣體流量監(jiān)測(cè)開(kāi)發(fā)的產(chǎn)品。該傳感器能直接測(cè)量氣體質(zhì)量流量,低壓損。適用于凈化空氣或氮?dú)饬髁勘O(jiān)控,還可用于環(huán)境采樣器(如色譜分析儀器等)
FS4003流量傳感器,管道內(nèi)徑為3mm,成本低測(cè)量范圍大到5SLPM;適用于粒子計(jì)數(shù)器和各類(lèi)分析儀器。
FS4008流量傳感器,管道內(nèi)徑為8mm,測(cè)量范圍大到50SLPM;可用于麻醉設(shè)備、潔凈氣體檢測(cè),如:空氣采樣機(jī),氣體分析儀等
產(chǎn)品特點(diǎn):
- 專(zhuān)為管徑3mm和8mm的氣管中的低壓氣體流量測(cè)量而設(shè)計(jì)
- 支持多種連接方式,易于安裝與使用
- 傳感芯片采用熱質(zhì)量流量計(jì)量,無(wú)需溫度壓力補(bǔ)償,保證了傳感器的高精度計(jì)量
- 在單個(gè)芯片上實(shí)現(xiàn)了多傳感器集成,使其量程比達(dá)到了100:1甚至更高
- 輸出方式靈活,既可通過(guò)通訊接口主動(dòng)上傳數(shù)據(jù)或由上位機(jī)查詢(xún)輸出數(shù)據(jù),也可通過(guò)模擬接口輸出線(xiàn)性的模擬電壓
- 零點(diǎn)穩(wěn)定度高
- 全量程高穩(wěn)定性、高度和優(yōu)良的重復(fù)性
- 低功耗、低壓損
- 響應(yīng)速度快
機(jī)械尺寸:
性能參數(shù)
FS4003
FS4008
單位
通徑
3
8
mm
大流量
2 3 4 5
10 20 30 40 50
SLPM
量程比
100:1
精度
±(1.5+0.2FS)
%
重復(fù)性
0.75
%
零點(diǎn)輸出飄移
±30
mV
輸出飄移
0.12
%/oC
響應(yīng)時(shí)間
100
ms
工作電源
8~18Vdc100mA
輸出方式
線(xiàn)性,RS232/模擬電壓0.5~4.5Vdc
大流量壓損
100
600
pa
大工作壓力
0.5
MPa
工作溫度
-10 ~ +55
oC
存儲(chǔ)溫度
-20 ~ +65
oC
工作濕度
<95%RH(無(wú)結(jié)冰、無(wú)凝露)
機(jī)械接口
BSPT1/4(R1/4)4mm/6mm/8mm快速接頭
校準(zhǔn)方式
空氣(或其他氣體),20oC,101.325kPa
重量
57(帶R1/4BSPT1/4接口)
71(帶4mm,8mm快速接口,68(帶6mm快速接頭)
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