山東省煙臺(tái)市電子廠房潔凈檢測(cè)內(nèi)容和方法--天津中達(dá)檢測(cè)濟(jì)南分公司 2.溫濕度需求:溫度通常為24 2 度 ,相對(duì)濕度為55 5%; 3.送風(fēng)量大。為了滿意無(wú)塵車(chē)間內(nèi)的潔凈度及熱濕平衡,需求較大的送風(fēng)量,就300平方米的車(chē)間,吊頂高度為2.5米的,如果是萬(wàn)級(jí),送風(fēng)量就需求300×2.5×30=22500m3/h的送風(fēng)量(換氣次數(shù),是≥25次/h);如果是十萬(wàn)級(jí),送風(fēng)量就需求300×2.5×20=15000m3/h的送風(fēng)量(換氣次數(shù),是≥15次/h)。每個(gè)行業(yè)對(duì)于潔凈室的要求都不同,良好的車(chē)間環(huán)境對(duì)于東西的生產(chǎn)及員工的健康都起著特別大的作用。
10萬(wàn)凈化車(chē)間有以下標(biāo)準(zhǔn),中標(biāo)凈化工程整塵埃粒子*允許數(shù)(每立方米):等于0.5微米的粒子數(shù)不能出3500000個(gè),大或等于5微米的粒子數(shù)不能出20000個(gè); 微生物*允許數(shù)(每立方米):浮游菌數(shù)不能出500個(gè);菌數(shù)不能出10個(gè)每培養(yǎng)皿。壓差:相同潔凈度等級(jí)的潔凈車(chē)間壓差保持一致,對(duì)于不同潔凈等級(jí)的相鄰潔凈車(chē)間之間壓差要≥5Pa,潔凈車(chē)間與非潔凈車(chē)間之間要≥10Pa。10萬(wàn)級(jí)凈化車(chē)間工作環(huán)境規(guī)定: 10萬(wàn)級(jí)無(wú)塵室對(duì)溫度、濕度無(wú)特殊要求時(shí),以穿著潔凈服不產(chǎn)生舒適感為宜,溫度一般控制在秋冬季20~22℃;春夏季24~26℃;波動(dòng)±2℃。秋冬季潔凈車(chē)間空氣濕度控制在30-50%,春夏季潔凈車(chē)間空氣濕度控制在50-70%。
電子廠房潔凈檢測(cè) 在檢測(cè)電子潔凈廠房標(biāo)準(zhǔn)過(guò)程中,潔凈度是一項(xiàng)特別重要的關(guān)鍵因素。如果電子潔凈廠房潔凈度檢不合格,當(dāng)有部分潔凈度檢測(cè)不達(dá)標(biāo),有的是部分局部空間,也有整個(gè)電子潔凈廠房工程。雖然可以通過(guò)整改、調(diào)試、清潔等,終達(dá)到了工藝生產(chǎn)的要求,但往往浪費(fèi)了大量的人力和物力,耽誤了工期、延誤了生產(chǎn)效率的進(jìn)程。往往有些原因和缺點(diǎn)在檢測(cè)前,是可以完全可以避免的。
10萬(wàn)級(jí)無(wú)塵室主要采用的送風(fēng)方式: 1.局部孔板頂棚送風(fēng); 2.帶擴(kuò)散板高效空氣過(guò)濾器頂棚送風(fēng); 3.上側(cè)墻送風(fēng)等三種送風(fēng)方式。10萬(wàn)級(jí)無(wú)塵室主要采用的回風(fēng)方式: 1.單側(cè)墻下部布置回風(fēng)口; 2.當(dāng)采用過(guò)道回風(fēng)時(shí),在過(guò)道內(nèi)均勻布置回風(fēng)口或在過(guò)道端部集中設(shè)置回風(fēng)口。
電子廠凈化工程不一樣級(jí)別氣體潔凈度等級(jí)的空氣過(guò)濾網(wǎng)的采用、布局關(guān)鍵點(diǎn):針對(duì)300000級(jí)空氣過(guò)濾解決,可選用亞高效過(guò)濾器替代高效送風(fēng)口;氣體潔凈度等級(jí)100級(jí)、1000級(jí)、10000級(jí)及100000級(jí)的空氣過(guò)濾解決,應(yīng)選用初、中、高效率三級(jí)過(guò)濾裝置;中效或高效率空氣過(guò)濾網(wǎng)宜按低于或相當(dāng)于額定值排風(fēng)量采用;中效空氣過(guò)濾網(wǎng)宜集中化設(shè)定在凈化室內(nèi)空氣調(diào)整的正壓力段;高效率或亞高效率空氣過(guò)濾網(wǎng)宜設(shè)定在凈化室內(nèi)空氣調(diào)整系統(tǒng)軟件的尾端。 一、檢測(cè)項(xiàng)目:懸浮粒子數(shù)、浮游菌、沉降菌、溫度、相對(duì)濕度、風(fēng)速、風(fēng)量、噪聲、照度、靜壓差、高效過(guò)濾器檢漏、自凈時(shí)間、換氣次數(shù)
電子廠房潔凈檢測(cè) 因?yàn)樵谶^(guò)于干燥的廠房?jī)?nèi)容易產(chǎn)生靜電,會(huì)損壞CMOS集成度。一般來(lái)說(shuō),電子車(chē)間的溫度應(yīng)控制在22℃左右,相對(duì)濕度應(yīng)控制在50-60之間(特殊潔凈車(chē)間有相關(guān)溫濕度規(guī)定)。此時(shí),能有效消除靜電,讓人心情舒暢。芯片生產(chǎn)車(chē)間、集成電路潔凈室和磁盤(pán)制造車(chē)間是電子制造潔凈室的重要組成部分。
溫濕度檢測(cè)要在氣流均勻性檢測(cè)之后和空調(diào)系統(tǒng)調(diào)整之后進(jìn)行。進(jìn)行這項(xiàng)檢測(cè)時(shí),空調(diào)系統(tǒng)已經(jīng)充分運(yùn)轉(zhuǎn),各項(xiàng)狀況已經(jīng)穩(wěn)定。每個(gè)濕度控制區(qū)至少設(shè)置一個(gè)濕度傳感器,并且給傳感器充分的穩(wěn)定時(shí)間。所做測(cè)量應(yīng)適合實(shí)際使用的目的,待傳感器穩(wěn)定之后才開(kāi)始測(cè)量,測(cè)量時(shí)間不少于5分鐘。
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