山西省呂梁市電子廠凈化車間潔凈檢測(cè) 技術(shù)--安衡檢測(cè)
常規(guī)檢測(cè)項(xiàng)目:塵埃粒子、浮游菌、沉降菌、溫度、相對(duì)濕度、壓差、換氣次數(shù)必須做項(xiàng)目:車間混合照度、車間空氣細(xì)菌菌落數(shù)、水質(zhì)38項(xiàng)檢測(cè)
溫濕度:無(wú)恒溫恒濕要求的溫濕度檢測(cè)應(yīng)符合下列要求:1.室內(nèi)空氣溫度和相對(duì)濕度測(cè)定之前,空調(diào)凈化系統(tǒng)應(yīng)已連續(xù)運(yùn)行至少8h。2.溫度的檢測(cè)可采用玻璃溫度計(jì)、數(shù)字式溫濕度計(jì);溫度的檢測(cè)可采用通風(fēng)式干濕球溫度計(jì)、數(shù)字式溫濕度計(jì)、電容式濕度檢測(cè)儀或露點(diǎn)傳感器等。根據(jù)溫濕度的波動(dòng)范圍,應(yīng)選擇足夠精度的測(cè)試儀表。溫度檢測(cè)儀表的小刻度不宜高 于0.4℃,溫度檢測(cè)儀表的小刻度不宜高于2%。測(cè)點(diǎn)為房間中間一點(diǎn),應(yīng)在溫濕度讀書(shū)穩(wěn)定后記錄。測(cè)完室內(nèi)溫濕度后,還應(yīng)
電子廠凈化車間潔凈檢測(cè) 目前對(duì)于大規(guī)模集成電路生產(chǎn)車間空調(diào)系統(tǒng)具有以下特點(diǎn):1、大規(guī)模集成電路工藝布置多采用開(kāi)放環(huán)境結(jié)合微環(huán)境的方法,在保證產(chǎn)品質(zhì)量的同時(shí),還可達(dá)到減少建設(shè)投資、降低運(yùn)行費(fèi)用的目的。
2、檢測(cè)點(diǎn):根據(jù)標(biāo)準(zhǔn),檢測(cè)凈化車間潔凈度時(shí),檢測(cè)點(diǎn)應(yīng)在距室內(nèi)地面水平面1.00m以內(nèi);單向流式無(wú)塵凈化車間,測(cè)點(diǎn)數(shù)不應(yīng)少于20個(gè),測(cè)點(diǎn)間距為0.5 -2.0m。水平單向流量測(cè)點(diǎn)僅無(wú)布置;非單向流式無(wú)塵凈化車間按無(wú)塵凈化車間面積小于等于50m2布置5個(gè)測(cè)點(diǎn)。
氣流流型:布置測(cè)點(diǎn),垂直單向流潔凈室選擇縱、橫剖面各一個(gè),以及距地面高度0.8m,1.5m的水平面各一個(gè);水平單向流潔凈室選擇縱剖面和工作區(qū)高度水平面各一個(gè),以及距送,回風(fēng)墻0.5m和房間中心等3個(gè)橫剖面,所有面上的測(cè)點(diǎn)間距均為0.2m~1m;亂流潔凈室選擇通過(guò)代表性送風(fēng)口中心的縱,橫剖面和工作區(qū)高度的水平面各1個(gè),剖面上的測(cè)點(diǎn)間距為0.2m~0.5m,水平面上測(cè)點(diǎn)間距為0.5m~1m。兩個(gè)風(fēng)口之間的中線上應(yīng)有測(cè)點(diǎn)。測(cè)定方法用發(fā)煙器或懸掛單絲線的方法逐點(diǎn)觀察和記錄氣流流向,并可用量角器量出角度,發(fā)煙源可用超聲波霧化的去離子水、噴射方法生成的乙醇或正二醇、固態(tài)二氧化碳等,在高強(qiáng)度光源下示蹤。在確保對(duì)人和物無(wú)損害時(shí)可以四氯化鈦?zhàn)鳛槭聚櫫W印?/P>
2、檢測(cè)點(diǎn):根據(jù)標(biāo)準(zhǔn),檢測(cè)凈化車間潔凈度時(shí),檢測(cè)點(diǎn)應(yīng)在距室內(nèi)地面水平面1.00m以內(nèi);單向流式無(wú)塵凈化車間,測(cè)點(diǎn)數(shù)不應(yīng)少于20個(gè),測(cè)點(diǎn)間距為0.5 -2.0m。水平單向流量測(cè)點(diǎn)僅無(wú)布置;非單向流式無(wú)塵凈化車間按無(wú)塵凈化車間面積小于等于50m2布置5個(gè)測(cè)點(diǎn)。
安衡檢測(cè)技術(shù)服務(wù)有限公司經(jīng)營(yíng)范圍包括生物安全柜、潔凈工作臺(tái)、生物安全實(shí)驗(yàn)室、潔凈室、醫(yī)院手術(shù)室、中央空調(diào)的環(huán)境檢測(cè)服務(wù)及實(shí)驗(yàn)儀器的技術(shù)服務(wù);清潔服務(wù);消毒服務(wù);室內(nèi)環(huán)境檢測(cè);大氣環(huán)境污染防治服務(wù)sxanhengjc
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