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山東省淄博市電子廠凈化車間潔凈檢測項目和標(biāo)準(zhǔn)--天津中達(dá)檢測濟(jì)南分公司 電子廠凈化工程不一樣級別氣體潔凈度等級的空氣過濾網(wǎng)的采用、布局關(guān)鍵點(diǎn):針對300000級空氣過濾解決,可選用亞高效過濾器替代高效送風(fēng)口;氣體潔凈度等級100級、1000級、10000級及100000級的空氣過濾解決,應(yīng)選用初、中、高效率三級過濾裝置;中效或高效率空氣過濾網(wǎng)宜按低于或相當(dāng)于額定值排風(fēng)量采用;中效空氣過濾網(wǎng)宜集中化設(shè)定在凈化室內(nèi)空氣調(diào)整的正壓力段;高效率或亞高效率空氣過濾網(wǎng)宜設(shè)定在凈化室內(nèi)空氣調(diào)整系統(tǒng)軟件的尾端。
二、檢測周期:空氣潔凈度等級、靜壓差、風(fēng)速或風(fēng)量的測試的*長時間檢測間隔;空氣潔凈度等級1-5級,*長時間間隔6個月;空氣潔凈度等級6-9級,*長時間間隔13個月;風(fēng)速或風(fēng)量,*長時間檢測12個月;靜壓差,*長時間間隔12個月;
電子廠凈化車間潔凈檢測 適用場景:潔凈生產(chǎn)用房,空調(diào)冷凍機(jī)房,純水和氣體凈化站,人員、物料凈化用房;電子廠房潔凈環(huán)境檢測標(biāo)準(zhǔn):《電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》(GB 50472-2008);《潔凈室施工及驗收規(guī)范》(GB50591-2010);《潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》(GB50073-2013)
因為凈化工程的檢測主要關(guān)注兩種粒徑,即0.5um和5um。等速采樣對≤0.5um的顆粒影響不大。如果采樣空氣用于計算大于或等于 0.5um 的粒徑濃度,如果這些粒子不受等速條件的影響,則計算結(jié)果不受影響。因此潔凈室區(qū)域非等速采樣只對大于等于0.5um的顆粒有意義。
目前對于大規(guī)模集成電路生產(chǎn)車間空調(diào)系統(tǒng)具有以下特點(diǎn):1、大規(guī)模集成電路工藝布置多采用開放環(huán)境結(jié)合微環(huán)境的方法,在保證產(chǎn)品質(zhì)量的同時,還可達(dá)到減少建設(shè)投資、降低運(yùn)行費(fèi)用的目的。2、對于空氣潔凈度等級為1-5級時,基本上采用單向流或混合流;空氣潔凈度等級為6-9級時,基本上采用非單向流。3、為有效降低能耗、降低空氣處理時冷熱抵消現(xiàn)象,對于新風(fēng)系統(tǒng)常采用集中處理形式。 目前對于大規(guī)模集成電路生產(chǎn)車間空調(diào)系統(tǒng)具有以下特點(diǎn):1、大規(guī)模集成電路工藝布置多采用開放環(huán)境結(jié)合微環(huán)境的方法,在保證產(chǎn)品質(zhì)量的同時,還可達(dá)到減少建設(shè)投資、降低運(yùn)行費(fèi)用的目的。2、對于空氣潔凈度等級為1-5級時,基本上采用單向流或混合流;空氣潔凈度等級為6-9級時,基本上采用非單向流。3、為有效降低能耗、降低空氣處理時冷熱抵消現(xiàn)象,對于新風(fēng)系統(tǒng)常采用集中處理形式。
電子廠凈化車間潔凈檢測 隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展,各種電子產(chǎn)品生產(chǎn)技術(shù)發(fā)展迅速?,F(xiàn)代電子產(chǎn)品要求微型化、精密化、高純度、高質(zhì)量和高可靠性,電子產(chǎn)品本身使用的集成電路、電子元器件的生產(chǎn)過程都要求在受控的環(huán)境下進(jìn)行操作,受控參數(shù)涉及微粒、化學(xué)污染物等與產(chǎn)品生產(chǎn)過程接觸的各種介質(zhì)。電子廠房內(nèi)氣流組織依據(jù)氣流流型可劃分為單向流、非單向流和混合流三種形式。
在電子潔凈廠房高能效過濾器的應(yīng)用上,電子凈化工程嚴(yán)格依照規(guī)定在潔凈度10萬級或高于10萬級以上的空氣凈化處理,應(yīng)采用初效、中效、高能效過濾器的三個等級過濾。而我們在某潔凈工程驗證過程中,某電子潔凈廠房工程在萬級的凈化級別上,采用亞高能效空氣過濾器代替高能效空氣過濾器,造成了潔凈度不合格,*終更換了高能效過濾器,才符合需要達(dá)到的標(biāo)準(zhǔn)。
天津中達(dá)檢測有限公司濟(jì)南分公司專注于潔凈環(huán)境檢測出具CMA報告,主營:手術(shù)室驗收檢測、PCR實驗室驗收檢測、潔凈車間驗收檢測、生物安全柜凈臺隔離裝置檢測、負(fù)壓病房驗收檢測、實驗室驗收檢測、高效過濾器檢漏,等項目。(snjjhjjc)
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