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安徽宿州市靈璧縣UV能量計校準第三方儀器測量機構(gòu)
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這種批量生產(chǎn)（batch process）的過程目前已經(jīng)全自動化控制，隔離了人為因素，確保了每一個MEMS芯片之間的工藝誤差可以得到嚴格的控制，從而提高了良品率。切片、封裝之后，就成為了一個個的MEMS芯片。從外觀上來看，大部分的MEMS芯片和集成電路芯片是差不多的。
圖中，傳統(tǒng)麥克風(fēng)的七八種機械配件就全部集成在了一塊很小的MEMS傳感器芯片上了，體積非常小，重量也非常輕。由于是芯片制造，一致性好、功耗低，更易于批量生產(chǎn)。但是對技術(shù)的要求那就非常高了。MEMS傳感器的出現(xiàn)極大的滿足了大家對產(chǎn)品小體積、高性能的要求。
每一種MEMS傳感器又有很多種細分方法。如加速度計，按檢測質(zhì)量的運動方式劃分，有角振動式和線振動式加速度計等，常見的MEMS傳感器有壓力傳感器、加速度傳感器、微機械陀螺儀、慣性傳感器、MEMS硅麥克風(fēng)等等;MEMS傳感器的品種多到可以以萬為單位，且不同MEMS之間參量較多，沒有完全標(biāo)準的工藝。
MEMS傳感器作為國際競爭戰(zhàn)略的重要標(biāo)志性產(chǎn)業(yè)，以其技術(shù)含量高、市場前景廣闊等特點備受世界各國的關(guān)注。近十年來，MEMS傳感器產(chǎn)業(yè)生態(tài)系統(tǒng)也正逐步完善，從研發(fā)、設(shè)計、代工、封測到應(yīng)用，完整產(chǎn)業(yè)鏈已基本形成，*對MEMS傳感器行業(yè)也給予了前所未有的政策支持。我國MEMS產(chǎn)業(yè)發(fā)展面臨了重大的機遇，特別是移動互聯(lián)網(wǎng)和物聯(lián)網(wǎng)的快速發(fā)展，將對MEMS產(chǎn)業(yè)產(chǎn)生深遠的影響，并將催生大量新的產(chǎn)品、新的應(yīng)用，帶動MEMS產(chǎn)品在日常生活及工業(yè)生產(chǎn)中的普及化。
我們偉大祖先的四大發(fā)明——指南針，可謂是無人不知啊，對于現(xiàn)代傳感器技術(shù)來講，它可算得上是磁傳感器的鼻祖了。
而在當(dāng)今的電子時代，磁傳感器在電機、電力電子技術(shù)、汽車工業(yè)、工業(yè)自動控制、機器人、辦公自動化、家用電器及各種安全系統(tǒng)等方面都有著廣泛的應(yīng)用。
磁傳感器是一種把磁場、電流、應(yīng)力應(yīng)變、溫度、光等外界因素引起的敏感元件磁性能變化轉(zhuǎn)換成電信號，以這種方式來檢測相應(yīng)物理量的器件。用于感測速度、運動和方向，應(yīng)用領(lǐng)域包括汽車、無線和消費電子、軍事、能源、醫(yī)療和數(shù)據(jù)處理等。
霍爾傳感器利用霍爾效應(yīng)的原理制作，主要有霍爾線性傳感器、霍爾開關(guān)和磁力計三種。
霍爾線性器件擁有很寬的磁場量測范圍，并能識別磁極。其應(yīng)用領(lǐng)域有電力機車、地下鐵道、無軌電車、鐵路等，還可用于變頻器中用于監(jiān)控電量、光伏直流柜監(jiān)測光伏匯流箱實時輸出電流的作用、電動機保護等。 線性霍爾傳感器還可以用于測量位置和位移，霍爾傳感器可用于液位探測、水流探測等。
是利用霍爾效應(yīng)產(chǎn)生的電勢差來測算外界磁場的大小和極性。磁力計是采用CMOS工藝的平面器件。工藝相對一般IC更為簡單，一般采用P型襯底上N阱上形成傳感器件，通過金屬電極將傳感器與其他電路（如放大器、調(diào)節(jié)處理器等）相連。
但這樣設(shè)計的的霍爾傳感器只能感知垂直于管芯表面的的磁場變化，因此增加了磁通集中器（magnetic flux concentrator），工藝上來講就是做原來的管芯上增加一層坡莫合金，可探測平行于管芯方向的磁場。由此，霍爾傳感器實現(xiàn)了從單軸到三軸磁力計的跨越式發(fā)展。
磁力計廣泛應(yīng)用于智能手機、平板電腦和導(dǎo)航設(shè)備等移動終端，擁有巨大的市場前景。同時，磁力計可以與加速度計組成6軸電子羅盤，三種慣性傳感器（加上陀螺儀）組合在一起還能實現(xiàn)9軸組合傳感器，構(gòu)成更強大的慣性導(dǎo)航產(chǎn)品。
1857年，Thomson發(fā)現(xiàn)坡莫合金的的各向異性磁阻效應(yīng)。對于有各向異性特性的強磁性金屬, 磁阻的變化是與磁場和電流間夾角有關(guān)的。我們常見的這類金屬有鐵、鈷、鎳及其合金等。
當(dāng)外部磁場與磁體內(nèi)建磁場方向成零度角時, 電阻是不會隨著外加磁場變化而發(fā)生改變的；但當(dāng)外部磁場與磁體的內(nèi)建磁場有一定角度的時候, 磁體內(nèi)部磁化矢量會偏移，薄膜電阻降低, 我們對這種特性稱為各向異性磁電阻效應(yīng)（Anisotropic Magnetoresistive Sensor,簡稱AMR）。磁場作用效果下圖。
力學(xué)對計量的依賴性非常強,它以力為基礎(chǔ),對各種自然現(xiàn)象進行解釋因此它需要依靠計量提供準確數(shù)字,這樣可以增強說服力。力學(xué)涉及到的內(nèi)容較為廣泛,其中主要有光速、壓力、速度、溫度等為了符合力學(xué)實驗要求,現(xiàn)階段的力學(xué)儀器類型也越來越多,例如拉力試驗機、材料試驗機等,力學(xué)儀器不僅在實驗中常常被應(yīng)用在人們?nèi)粘Ｉ钪械膽?yīng)用也較為廣泛。
一、力學(xué)計量概述
(一)流量計量。根據(jù)流體區(qū),可對流量計量進行劃分將其分為氣流量計量、油流量計量、水流量計量三種類型流量測量介質(zhì)不能互換,不過在計量方法上基本一致?，F(xiàn)階段流量計量發(fā)展主要表現(xiàn)為兩種情況,分別為動態(tài)流量校準與介質(zhì)流量計量、極端量值標(biāo)準研發(fā)。
(二)壓力計量。在工程施工技術(shù)測量中所謂壓力也就是指強壓在壓力計量內(nèi),壓力也同樣指的是強壓。壓力計量的主要工作就是校準與鑒定壓力模塊、壓力變送器、精密壓力表、壓力傳感器等,同時還要負責(zé)檢測與校準數(shù)字壓力計。壓力計量包含動態(tài)與靜態(tài)兩種類型,靜態(tài)又分為砝碼與對比;動態(tài)分為正弦壓力法與激波管法。在靜態(tài)中,活塞式壓力計較多,它可分為液體式、氣體式兩種類型。動態(tài)壓力對傳感器的工作主要依靠正弦壓力法與激波管法完成。目前隨著計算機技術(shù)的不斷進步與發(fā)展河將電子信息技術(shù)融入力學(xué)計量中,便于采集與處理被測數(shù)據(jù)減少人工操作提高計量的準確性。
(三)振動計量。振動描述通過速度、位移、頻率、加速等完成振動測試的結(jié)果是否準確主要在于計量結(jié)果是否*。
在20世紀50年代初期,很多*得出了不同的振動校準結(jié)果。這表明儀器校準結(jié)果存在較大誤差經(jīng)過不斷研究后校準誤差逐漸降低主要原因在于儀器校準技術(shù)的持續(xù)發(fā)展與進步。
(四)質(zhì)量計量。在SI中質(zhì)量是力學(xué)計量的基本單位利用kg符號表示。在質(zhì)量計量過程內(nèi),需利用天平對砝碼質(zhì)量進行測量質(zhì)量計量水平可依據(jù)天平與砝碼研究情況作出判斷。質(zhì)量計量會受到很多因素的影響,尤其環(huán)境對其的影響較大,空氣對流會影響計量結(jié)果。另外磁化對計量結(jié)果的影響非常大因此,現(xiàn)階段應(yīng)該著重研究如何降低其他因素對質(zhì)量計量的干擾。
二、力學(xué)計量儀器校準中的相關(guān)問題
(一)實現(xiàn)計量法的統(tǒng)一。從力學(xué)計量的實際情況上看計量并非人們平常所了解的一樣。我們通常意義上認為的儀器計量只包括物理學(xué),認為力學(xué)計量*注重的就是力學(xué),然而事實并非如此。儀器計量關(guān)系到我們的生活,因此,必須要實現(xiàn)計量統(tǒng)一所謂計量統(tǒng)一,就是指計量法的統(tǒng)一。通過統(tǒng)一的計量法，可避免*或個人因計量標(biāo)準未統(tǒng)一而引發(fā)矛盾因此為了提高力學(xué)儀器的有效率,首先必須實現(xiàn)統(tǒng)一化的計量標(biāo)準。*與*間的計量標(biāo)準存在差異,我國也有計量標(biāo)準在使用自己*的計量標(biāo)準時,也可以利用國際計量標(biāo)。我國主要采用自己*的計量標(biāo)準,不過在物理學(xué)、力學(xué)等方面采用國際統(tǒng)一標(biāo)準,可以使我國的學(xué)術(shù)領(lǐng)域與國際接軌。只有建立統(tǒng)一的計量標(biāo)準,才能提高計量*度，確保力學(xué)計量充分發(fā)揮作用。
實驗室地址
東莞部：廣東省東莞市道滘鎮(zhèn)厚德上梁洲工業(yè)區(qū)四橫路7號
：江蘇省蘇州市昆山開發(fā)區(qū)昆嘉路379號
重慶世通：重慶市北碚區(qū)萬寶大道184號3樓
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