測量范圍mm 100*100 200*100 200*170 300*170 400*200 50*50 100*50 工作臺(tái)尺寸mm 280*280 350*280 410*342 510*342 610*342 - - 載物臺(tái)玻璃尺寸mm 0 270*240 370*240 440*240 96*96 154*96 目鏡(選件) 10X(視野范圍:24mm),15X(視野范圍:16)20X(視野范圍:12) 單目15X(視野范圍:13mm) 物鏡 1X,(3X標(biāo)配),5X-100X的M/BD pian Apo物鏡可選配 2X工作距離67mm 分辨率 0.001mm/0.0005mm/0.0001mm/.0001&/.00005&/.00001& 0.001mm Z軸行程 150mm 220mm 115mm 107mm 調(diào)焦方式 手動(dòng)調(diào)焦(粗調(diào)焦:30mm/rev、微調(diào)焦:0.2mm/rev.) 手動(dòng) 測量精度(20℃) XY軸:(2.5+0.02L)μm,L為測量長度(mm)。 - - 指示精度(20℃) Z軸:(5+0.04L)μm,L為測量長度(mm)。 - - 照明系統(tǒng) 面光照明(反射光):12V/50W亮度可調(diào) 24V2W鎢絲燈泡亮度可調(diào) 底光照明(透射光):12V/50W亮度可調(diào) 24V2W鎢絲燈泡亮度可調(diào) 臺(tái)面工件承重 10kg 20kg 5kg
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