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為了保護(hù)真空泵，真空泵前的電磁閥在過(guò)壓的情況下不能打開。真空泵和羅茲泵從開始就一起啟動(dòng)?？諝饬鹘?jīng)羅茲泵的旁通管。羅茲泵在壓力低于30mbar時(shí)達(dá)到其大的抽氣功率1000m3/h， 能夠防止真空泵裝置通常發(fā)生的在低壓下抽真空能力的下降，實(shí)現(xiàn)氣室的良好干燥和快速除氣的目的。