TCS208F氣體熱導(dǎo)傳感器,是采用的MEMS工藝加工技術(shù)制備的新一代傳感器件,具有小型化、集成化的特點(diǎn),可以極大地提供傳感器性能。TCS208F可以測(cè)天然氣、H2、CO2、CO、SF6、Xe、He、NH3等成分或含量,也可測(cè)量非常小的氣體容積變化,TCS208F成本低、功耗低、溫度低,時(shí)間常數(shù)小,TO8封裝,抗沖擊能力強(qiáng)。
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