山西省呂梁市電子廠凈化車間潔凈檢測 技術(shù)--安衡檢測

常規(guī)檢測項目：塵埃粒子、浮游菌、沉降菌、溫度、相對濕度、壓差、換氣次數(shù)必須做項目：車間混合照度、車間空氣細菌菌落數(shù)、水質(zhì)38項檢測

溫濕度：無恒溫恒濕要求的溫濕度檢測應(yīng)符合下列要求：1.室內(nèi)空氣溫度和相對濕度測定之前，空調(diào)凈化系統(tǒng)應(yīng)已連續(xù)運行至少8h。2.溫度的檢測可采用玻璃溫度計、數(shù)字式溫濕度計；溫度的檢測可采用通風式干濕球溫度計、數(shù)字式溫濕度計、電容式濕度檢測儀或露點傳感器等。根據(jù)溫濕度的波動范圍，應(yīng)選擇足夠精度的測試儀表。溫度檢測儀表的小刻度不宜高 于0.4℃，溫度檢測儀表的小刻度不宜高于2%。測點為房間中間一點，應(yīng)在溫濕度讀書穩(wěn)定后記錄。測完室內(nèi)溫濕度后，還應(yīng)

電子廠凈化車間潔凈檢測  目前對于大規(guī)模集成電路生產(chǎn)車間空調(diào)系統(tǒng)具有以下特點：1、大規(guī)模集成電路工藝布置多采用開放環(huán)境結(jié)合微環(huán)境的方法，在保證產(chǎn)品質(zhì)量的同時，還可達到減少建設(shè)投資、降低運行費用的目的。

2、檢測點：根據(jù)標準，檢測凈化車間潔凈度時，檢測點應(yīng)在距室內(nèi)地面水平面1.00m以內(nèi)；單向流式無塵凈化車間，測點數(shù)不應(yīng)少于20個，測點間距為0.5 -2.0m。水平單向流量測點僅無布置；非單向流式無塵凈化車間按無塵凈化車間面積小于等于50m2布置5個測點。

氣流流型：布置測點，垂直單向流潔凈室選擇縱、橫剖面各一個，以及距地面高度0.8m，1.5m的水平面各一個；水平單向流潔凈室選擇縱剖面和工作區(qū)高度水平面各一個，以及距送，回風墻0.5m和房間中心等3個橫剖面，所有面上的測點間距均為0.2m~1m；亂流潔凈室選擇通過代表性送風口中心的縱，橫剖面和工作區(qū)高度的水平面各1個，剖面上的測點間距為0.2m~0.5m，水平面上測點間距為0.5m~1m。兩個風口之間的中線上應(yīng)有測點。測定方法用發(fā)煙器或懸掛單絲線的方法逐點觀察和記錄氣流流向，并可用量角器量出角度，發(fā)煙源可用超聲波霧化的去離子水、噴射方法生成的乙醇或正二醇、固態(tài)二氧化碳等，在高強度光源下示蹤。在確保對人和物無損害時可以四氯化鈦作為示蹤粒子。

2、檢測點：根據(jù)標準，檢測凈化車間潔凈度時，檢測點應(yīng)在距室內(nèi)地面水平面1.00m以內(nèi)；單向流式無塵凈化車間，測點數(shù)不應(yīng)少于20個，測點間距為0.5 -2.0m。水平單向流量測點僅無布置；非單向流式無塵凈化車間按無塵凈化車間面積小于等于50m2布置5個測點。

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