應(yīng)用范圍：靈活的OEM設(shè)備，用于多種不同樣品的在線(xiàn)壽命測(cè)量：從單晶硅到多晶硅錠，從生成態(tài)晶圓片到不同鍍層或金屬化晶圓的過(guò)程控制。標(biāo)準(zhǔn)軟件接口，易于連接到許多處理或自動(dòng)化系統(tǒng)。

在線(xiàn)面掃和單點(diǎn)檢測(cè)

MDPlinescan是一個(gè)易于集成的OEM單元，可集成到各種自動(dòng)化的檢測(cè)線(xiàn)。關(guān)鍵的測(cè)量參數(shù)是實(shí)時(shí)的載流子壽命掃描。
樣品通常由測(cè)量頭下的傳送帶或機(jī)器人系統(tǒng)來(lái)輸送。應(yīng)用實(shí)例從晶錠到晶圓的檢測(cè)，每個(gè)晶圓的測(cè)量速度小于一秒。
電池生產(chǎn)線(xiàn)上的來(lái)料質(zhì)量檢查是*常用的一種應(yīng)用方向，同樣，鈍化和擴(kuò)散后的工藝質(zhì)量檢查也能用到此款產(chǎn)品。

還有許多其他的專(zhuān)門(mén)應(yīng)用可能性。由于其易于集成，只需要以太網(wǎng)連接和電源。

特性

允許單片調(diào)查
配方的基礎(chǔ)測(cè)量
監(jiān)控材料質(zhì)量、工藝的完整性和穩(wěn)定性
優(yōu)勢(shì)
在μ-PCD或穩(wěn)態(tài)激發(fā)條件下測(cè)量少數(shù)載流子壽命和電阻率是這個(gè)工具的重點(diǎn)。
用于集成在生產(chǎn)線(xiàn)的多晶或單晶硅晶圓在不同的準(zhǔn)備階段，直到設(shè)備，磚或錠。
小尺寸和標(biāo)準(zhǔn)的自動(dòng)化接口使集成變得容易。重點(diǎn)是長(zhǎng)時(shí)間的可靠性和測(cè)量結(jié)果的精度。

技術(shù)參數(shù)